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简介—— 一)电源输入输出参数电源输入:三相五线 50Hz,AC380V±10% N PE电源输出:1) DC -62KV 50m

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一)电源输入输出参数

电源输入:三相五线 50Hz,AC380V±10% N PE

电源输出:

1) DC -62KV 50mA

2) DC -2000V 25mA

3) DC 10V 20A

高压电源额定功率:3KW

二)输出部分参数描述

高压输出部分

1. 逆变频率:20KHz以上

2. 输出直流高压:0~-62KV 连续可调

3. 输出电流:0-51mA

4. 高压控制调节:用户给定DC 0~10V电压信号对应 0~-60KV

5. 高压检测:电源具有高压实际值测量通道,输出0~10V 信号,此信号对应 0~-62KV,输入到用户作为高压的反馈信号。

6. 线调整率:输入电压变化10%,高压输出变化小于0.1%

7. 静态负载调整率:负载电流0-51mA之间,高压输出变化小于0.1%

8. 动态负载调整率:负载电流0-51mA阶跃变化,高压输出跌落≤360V(0.6%),并在1-5mS内恢复至设定电压

9. 输出电压纹波:≤0.1%

10. 瞬态响应:在短路或放电后,50ms内恢复至设定电压

11. 温漂系数:50ppm/℃

12. 时漂:小于0.01%

电子束电源

栅偏电压输出部分

1. 逆变频率:≥20KHz。

2. 输出直流电压 DC0~-2000V,25mA,电压连续可调

3. 栅偏控制调节:对应束流0-51mA闭环控制时:自动调节栅偏压达到稳定束流的目的,用户输入信号电压 DC 0~3V,

4. 束流检测:电源具有束流实际值测量通道,输出 DC 0~10V 信号对应 0~51mA,此信号输给用户作为束流的实际值检测信号

5. 束流精度:闭环控制模式下,给定束流与输出束流间偏差≤0.2%

6. 纹波系数 ≤0.1%

7. 上升时间:≤5us

8. 温漂系数:200ppm/℃

9. 时漂:小于0.1%

10. 束流锁零控制信号,当束流锁零为低电平时,锁定偏压为最大值,当束流锁零为低电平时,偏压可调节。

11. 束流给定为0V时,无漏束。

12. 束流反馈是唯一可靠的参考。

灯丝电源部分

1. 逆变频率≥20KHz

2. 输出直流电压 DC 0~10V,20A 连续可调

3. 灯丝电流调节:用户输出信号电压 DC 0~10V 对应灯丝电流 DC 0~20A

4. 电源具有灯丝电流实际值测量通道,输出 DC 0~10V 信号对应 DC0~20A,此信号送给 用户作为电流的实际值检测信号;

5. 有灯丝故障检测电路

6. 灯丝电压纹波系数:≤1%

7. 灯丝电流波纹系数:≤1%

三)接口

1、 控制接口:向用户提供详细的控制接口说明。

2、 放电?;げ呗裕?/span>

1) 轻微放电,即电压跌落小于0.2%(可由用户设置)时,高压自行恢复不做处理;

2) 严重放电,即电压跌落大于设定比例,快速关断电源,并快速恢复,并向用户给出高压放电信号,使得用户可检测。

3、 高压接头:型号为CA1,C是偏压,L和S是灯丝。

4、 电源尺寸:高压油箱尺寸430mm*430mm*665mm(含轮),

控制部分机箱:8u标准机箱,深550mm

西安电子束电源

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